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坩埚炉使用惰性气体作为工作气体

坩埚炉使用惰性气体作为工作气体
 
   1. 接通工作气体气路,将管式炉气体出口端连接机械泵。 
 
   2. 打开管式炉进气阀,合上真空泵电源,打开出气阀(注意把住法兰,避免炉管受力过大),抽空刚玉管和气体管路。 
 
   3. 当管式炉真空表到-0.1(指针到尽头时),关闭出气阀,关闭进气阀。 
 
   4. 逆时针旋动旋钮开气瓶主阀,顺时针旋动旋钮,缓慢打开出口减压阀,使出口气压在0.004MPa(2小格)。
 
   5. 逆时针旋动旋钮,缓慢打开管式炉进气阀;密切注意管式炉气压表,确认气压在0.08MPa以下(如气压高于0.08MPa,打开管式炉出气阀放气)。
 
   6. 管式炉气压表当气压稳定时,关闭管式炉进气阀,打开出气阀,抽真空到-0.1,关管式炉出气阀。
 
   7. 重复4、5步两次。 
 
   8. 关机械泵,打开管式炉进气阀。

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