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坩埚炉充工作的气体方法

坩埚炉充工作的气体方法
 
      1. 接通氢气气路,对各接头处用肥皂水检漏,确认不漏气。
 
      2. 确认各阀门处于关闭状态。 
 
      3. 逆时针旋转旋钮开氢气瓶主阀,顺时针旋动旋钮,缓慢打开出口减压阀,使出口气压在 0.1MPa。  
 
      4. 接通机械泵电源,打开管式炉出口阀和机械泵气路上的两个阀门,抽5分钟。
 
      5. 关闭机械泵气路上的两个阀门,关闭管式炉出口阀门,关机械泵。
 
      6. 逆顺时针打开上气路控制阀,使箭头指向“开”位置。 
 
      7. 逆顺时针调节流量计旋钮,使示数在20ml/min。 
 
      8. 逆时针旋动旋钮,打开管式箱式高温炉进气阀,直至气压表读数为零。
 
      9. 打开管式炉进气阀,打开氢气气路上的红色出口阀门。
 
     10. 在通氢气满十分钟后,才能开始加热管式炉。加热前,逆时针调节流量计旋钮,使锥形 瓶中气泡出现的速度为2个/秒钟。

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